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半導(dǎo)體制造設(shè)備檢測(cè)

發(fā)布日期: 2024-06-21 17:34:53 - 更新時(shí)間:2024年06月29日 15:22

半導(dǎo)體制造設(shè)備檢測(cè)項(xiàng)目報(bào)價(jià)???解決方案???檢測(cè)周期???樣品要求?

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GB/T 5226.33-2017機(jī)械電氣安全 機(jī)械電氣設(shè)備 第33部分:半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)條件

GB/T 5226的本部分規(guī)定了半導(dǎo)體設(shè)備相關(guān)的制造、測(cè)量、組裝和測(cè)試的電氣、電子和可編程電子設(shè)備及系統(tǒng)的安全要求。本部分所論及的設(shè)備是從機(jī)械電氣設(shè)備的電源引入處開(kāi)始的(見(jiàn)5.1)。本部分適用的電氣設(shè)備或電氣設(shè)備部件,其標(biāo)稱電壓不超過(guò)1 000 Va.c.或1 500 Vd.c.,額定頻率不超過(guò)200 Hz。對(duì)于更高的電壓或頻率,可能需要特殊的要求。本部分包括針對(duì)電氣安全隱患的防護(hù)措施和針對(duì)非電氣安全隱患的電氣聯(lián)鎖保護(hù)電路,但不涵蓋由其他標(biāo)準(zhǔn)或法規(guī)規(guī)定的對(duì)人身安全保護(hù)的所有要求(如化學(xué)品危險(xiǎn)、機(jī)械危險(xiǎn)、輻射危害)。每種類型的機(jī)械適應(yīng)其特定要求以提供足夠的安全。下列半導(dǎo)體制造設(shè)備的電氣裝置應(yīng)提供附加和特殊技術(shù)要求:——使用、加工或生產(chǎn)易爆材料;——在易燃易爆環(huán)境中使用;——當(dāng)生產(chǎn)或使用某種材料時(shí)有特殊風(fēng)險(xiǎn);——作為起重機(jī)械(包括在IEC 60204-32)。本部分不包括半導(dǎo)體設(shè)備的性能或功能特性規(guī)范。本部分不涉及對(duì)人類健康可能造成影響的源于半導(dǎo)體設(shè)備的排放(如電磁場(chǎng),噪聲)。本部分沒(méi)有規(guī)定電磁兼容性(EMC)的要求。

GB/T 10320-2011激光設(shè)備和設(shè)施的電氣安全

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了對(duì)激光設(shè)備和設(shè)施電氣部分的安全要求及有關(guān)試驗(yàn)方法,給出了基本的電氣安全預(yù)防措施的指南。本標(biāo)準(zhǔn)適用于符合本文所規(guī)定的激光設(shè)備和設(shè)施的安全要求及有關(guān)試驗(yàn)方法,目的是從以下幾個(gè)方面為設(shè)備使用者提供可靠的防護(hù):a) 直接和間接的接觸;b) 過(guò)高溫度作用(著火危險(xiǎn));c) 炸裂和內(nèi)爆;d)有毒的或有腐蝕性的物質(zhì)的作用。本標(biāo)準(zhǔn)不適用于激光設(shè)備和設(shè)施中在安全特低電壓下工作、無(wú)觸電危險(xiǎn)的電氣部分的直接和間接觸及防護(hù);也不適用于含有激光器部件的整個(gè)設(shè)備(例如醫(yī)療設(shè)備、辦公機(jī)器及在危險(xiǎn)環(huán)境里使用的設(shè)備)。這些設(shè)備應(yīng)遵照其他的電氣安全標(biāo)準(zhǔn)。但是,如果激光器從設(shè)備中拆出仍可工作,該拆出的激光器應(yīng)遵從本標(biāo)準(zhǔn)的要求。本標(biāo)準(zhǔn)也不適用于處在研制或設(shè)計(jì)中的激光設(shè)備和設(shè)施。本標(biāo)準(zhǔn)不適用于對(duì)激光設(shè)備所產(chǎn)生的激光輻射的使用;也不說(shuō)明輻射防護(hù)措施。但當(dāng)激光輻射防護(hù)裝置與電氣設(shè)備相連時(shí),則應(yīng)根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定的試驗(yàn)來(lái)估計(jì)其電氣安全性。

GB/T 14896.7-2015特種加工機(jī)床 術(shù)語(yǔ) 第7部分:增材制造機(jī)床

GB/T 14896的本部分規(guī)定了增材制造機(jī)床的機(jī)床名稱、機(jī)床參數(shù)、機(jī)床零部件、加工方法和其他的術(shù)語(yǔ)及其定義。本部分適用于各類增材制造機(jī)床和設(shè)備(以下簡(jiǎn)稱“機(jī)床”)。

GB/T 19290.1-2003發(fā)展中的電子設(shè)備構(gòu)體機(jī)械結(jié)構(gòu)模數(shù)序列 第1部分;總規(guī)范

本部分涉及設(shè)備構(gòu)體。模數(shù)序列適用于安裝在各種必須考慮尺寸接口的設(shè)施中的電子設(shè)備主要結(jié)構(gòu)尺寸。 它指的是基本參數(shù),而不涉及用于制造的公差或間隙。 此外,還包括與其他技術(shù)領(lǐng)域的接口及先進(jìn)工藝和設(shè)計(jì)方面的相關(guān)信息。 本部分包括電子設(shè)備機(jī)械結(jié)構(gòu)零件和部件的標(biāo)準(zhǔn)術(shù)語(yǔ)。 本部分給出電子設(shè)備機(jī)械結(jié)構(gòu)模數(shù)序列的定義,并提供與相關(guān)工程應(yīng)用(如印制板、元件、儀器、設(shè)備、房間、建筑物等)機(jī)械接口的尺寸兼容性。 此外,本部分支持考慮了下述各點(diǎn)的模數(shù)序列規(guī)則的介紹和應(yīng)用: ——接口尺寸的兼容性針對(duì)以SI單位為基礎(chǔ)的電子領(lǐng)域。 ——使用此規(guī)則能夠獲得技術(shù)和經(jīng)濟(jì)的利益。 本部分中的術(shù)語(yǔ)適用于所有電子設(shè)備機(jī)械結(jié)構(gòu)標(biāo)準(zhǔn)和相關(guān)技術(shù)文件。

GB/T 24468-2009半導(dǎo)體設(shè)備可靠性、可用性和維修性(RAM)的定義和測(cè)量規(guī)范

本標(biāo)準(zhǔn)通過(guò)提供半導(dǎo)體制造設(shè)備(以下簡(jiǎn)稱設(shè)備)在制造環(huán)境下的可靠性、可用性和維修性(以下簡(jiǎn)稱RAM)性能的測(cè)量標(biāo)準(zhǔn),為這種設(shè)備的用戶和設(shè)備供應(yīng)商建立一個(gè)交流的共同基礎(chǔ)。本標(biāo)準(zhǔn)定義了設(shè)備的六個(gè)基本狀態(tài),所有的設(shè)備條件和階段都必須歸入這六個(gè)狀態(tài)。設(shè)備的狀態(tài) 由功能決定,而不管是由誰(shuí)來(lái)執(zhí)行此功能。本規(guī)范中所涉及的設(shè)備可靠性的測(cè)量主要集中在設(shè)備失效和設(shè)備使用的關(guān)系上,而不是設(shè)備失效和設(shè)備經(jīng)歷的(日歷)總時(shí)間之間的關(guān)系。本標(biāo)準(zhǔn)第5章(設(shè)備的狀態(tài))定義了設(shè)備的時(shí)間是如何分類的,第6章(RAM測(cè)量)確定了測(cè)量設(shè)備性能的公式。第7章(不確定度測(cè)量)給出了用統(tǒng)計(jì)學(xué)對(duì)計(jì)算出的性能量值進(jìn)行評(píng)估的方法。本標(biāo)準(zhǔn)的有效實(shí)施,要求設(shè)備的(RAM)性能可以通過(guò)設(shè)備的運(yùn)行時(shí)間和周期進(jìn)行跟蹤。對(duì)設(shè)備狀態(tài)的自動(dòng)跟蹤不屬于本標(biāo)準(zhǔn)的范圍,它由SEMI E58所覆蓋。用戶和供應(yīng)商之間的清晰有效的溝通可以促進(jìn)設(shè)備性能的不斷提高。本標(biāo)準(zhǔn)中的RAM指標(biāo)可以在整個(gè)設(shè)備和分系統(tǒng)層次上直接應(yīng)用于非集群設(shè)備,也可以在分系統(tǒng)層次(比如工藝模塊)用于多路集群設(shè)備。

GB/T 29845-2013半導(dǎo)體制造設(shè)備的終裝配、包裝、運(yùn)輸、拆包及安放導(dǎo)則

本標(biāo)準(zhǔn)給出了半導(dǎo)體制造設(shè)備(SME)在供應(yīng)商工廠的終裝配(總裝)、包裝、運(yùn)輸以及在客戶潔凈室生產(chǎn)區(qū)的拆包和安放等特定活動(dòng)指南。本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體制造設(shè)備、獨(dú)立的組件和部件在供應(yīng)商工廠的終裝配(總裝)、包裝和運(yùn)輸以及從客戶裝貨碼頭/接收區(qū)到高純和超高純應(yīng)用的潔凈室生產(chǎn)區(qū)的轉(zhuǎn)移過(guò)程。本標(biāo)準(zhǔn)不包含與環(huán)境、健康和安全(EHS)相關(guān)的特殊要求,也不適用于與晶片粒子或晶片質(zhì)量(如離子污染度)相關(guān)的加工過(guò)程規(guī)范。

GB/T 31847-2015電工電子設(shè)備機(jī)械結(jié)構(gòu) 模數(shù)序列及其應(yīng)用

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電工電子設(shè)備機(jī)械結(jié)構(gòu)的模數(shù)序列的術(shù)語(yǔ)和定義、模數(shù)序列和模數(shù)序列的應(yīng)用。本標(biāo)準(zhǔn)適用于公制尺寸系列的和英制尺寸系列的電工電子設(shè)備機(jī)械結(jié)構(gòu)。

GB/T 33376-2016光學(xué)功能薄膜術(shù)語(yǔ)及其定義

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用于光學(xué)功能薄膜行業(yè)中的術(shù)語(yǔ)及其定義。本標(biāo)準(zhǔn)適用于光學(xué)功能薄膜。

GB 51170-2016航空工業(yè)工程設(shè)計(jì)規(guī)范

本規(guī)范適用于航空工業(yè)新建、擴(kuò)建、改建、遷建、恢復(fù)等建設(shè)項(xiàng)目的工程設(shè)計(jì)。

GB 51209-2016發(fā)光二極管工廠設(shè)計(jì)規(guī)范

本規(guī)范適用于新建、擴(kuò)建和改建的發(fā)光二極管工廠的工程設(shè)計(jì)。

SJ/T 10152-1991集成電路主要工藝設(shè)備術(shù)語(yǔ)

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了半尋體集成電路制造工序主要生產(chǎn)設(shè)備的有關(guān)術(shù)語(yǔ)及定義。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體集成電路制造工序主要生產(chǎn)設(shè)備的研究、生產(chǎn)、使用、檢驗(yàn)、教學(xué)和技術(shù)交流。

SJ/T 11762-2020半導(dǎo)體設(shè)備制造信息標(biāo)識(shí)要求

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了半導(dǎo)體設(shè)備制造信息標(biāo)識(shí)的術(shù)語(yǔ)和定義、設(shè)計(jì)和原則、使用及相應(yīng)的綜合標(biāo)簽庫(kù)。半導(dǎo)體設(shè)備制造信息標(biāo)識(shí)包括半導(dǎo)體制造設(shè)備選擇、安裝、使用和維護(hù)時(shí)需要的各種類型的技術(shù)和商業(yè)信息。信息類型包括操作手冊(cè)/指南、安裝手冊(cè)、維護(hù)手冊(cè)、維護(hù)計(jì)劃、備件/零部件清單、維修/故障排除手冊(cè)、發(fā)行說(shuō)明、培訓(xùn)手冊(cè)等。本標(biāo)準(zhǔn)的目的是規(guī)定標(biāo)記體系、標(biāo)記結(jié)構(gòu)以及足夠豐富的信息標(biāo)記,以促進(jìn)信息的電子交換和分配、信息的拷貝、印刷和屏幕顯示、穩(wěn)定精確的在線檢索以及在將原始資料整合到培訓(xùn)材料和在線支撐應(yīng)用方面再使用和再利用信息。本標(biāo)準(zhǔn)的目的是規(guī)定文件電子交換、信息檢索、信息交互驗(yàn)證時(shí)所必需的標(biāo)記,建立信息交換規(guī)范,而不是編寫(xiě)規(guī)范或電子演示規(guī)范。本標(biāo)準(zhǔn)不包括信息模型實(shí)施的建議或者說(shuō)明,不包括SGML和XML教程,不包括如何使用所定義的元素或者模塊,不包括如何創(chuàng)建文檔內(nèi)容等。

SJ/T 11763-2020半導(dǎo)體制造設(shè)備人機(jī)界面規(guī)范

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了半導(dǎo)體制造設(shè)備人機(jī)界面的術(shù)語(yǔ)和要求。本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體制造設(shè)備。其他領(lǐng)域如平板顯示器制造設(shè)備也可參考本標(biāo)準(zhǔn),但不在本標(biāo)準(zhǔn)適用范圍之內(nèi)。

SJ 20820.1-2002信息技術(shù).小計(jì)算機(jī)系統(tǒng)接口(SCSI)-3基本命令層.第1部分:基本命令

SJ 20820系列標(biāo)準(zhǔn)適用于許多不同類型的SCSI設(shè)備(磁盤(pán)、磁帶、打印機(jī)、掃描儀以及其他設(shè)備)。本部分定義了適用于全部SCSI設(shè)備的設(shè)備模型,其他的SCSI-3命令標(biāo)準(zhǔn)(見(jiàn)3.1.11)是通用SCSI設(shè)備模型的擴(kuò)展,以適用于專用類型的SCSI設(shè)備。本部分為全部SCSI設(shè)備定義了必須執(zhí)行和選擇執(zhí)行的SCSI命令,還定義了適用于任何設(shè)備模型的SCSI命令。因?yàn)橹魈幚頇C(jī)是任何SCSI域中的一部分,所以在本部分中定義了處理機(jī)設(shè)備模型。可由SCSI處理機(jī)設(shè)備實(shí)現(xiàn)的命令也同樣在本部分中定義了。某些SCSI目標(biāo)設(shè)備可能要求處理機(jī)設(shè)備模型的主機(jī)實(shí)現(xiàn),以支持SCSI-3體系結(jié)構(gòu)模型中定義的異步事件報(bào)告能力。圖1顯示自本部分公布時(shí)起本部分與SJ 20820系列標(biāo)準(zhǔn)中其他標(biāo)準(zhǔn)和相關(guān)項(xiàng)目的關(guān)系。圖1中的路徑是用來(lái)顯示文本相互之間的一般適用性。該圖并不表示諸如結(jié)構(gòu)層次、協(xié)議集合、或系統(tǒng)體系結(jié)構(gòu)這樣的關(guān)系,而是表示一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的適用性,該標(biāo)準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)給定傳輸。本部分中SCSI總體結(jié)構(gòu)包括:物理互連:光纖通道判優(yōu)循環(huán) FC-AL [ANSI X3.272-1996]光纖通道物理和信號(hào)接口 FC-PH [ANSI X3.230-1994]高性能串行總線 [IEEE 1394-1995]SCSI-3并行接口2 SPI-2 [ANSI X3.302-199x]SCSI-3 FAST-20并行接口 [ANSI X3.277-1996]串行存儲(chǔ)體系結(jié)構(gòu)物理層1 SSA-PH [ANSI X3.293-1996]串行存儲(chǔ)體系結(jié)構(gòu)物理層2 SSA-PH-2 [ANSI NCITS.307-199x]傳輸協(xié)議:串行存儲(chǔ)體系結(jié)構(gòu)傳輸層1 SSA-TL-1 [ANSI X3.295-1996]串行存儲(chǔ)體系結(jié)構(gòu)傳輸層2 SSA-TL-2 [ANSI NCITS.308-199x]SCSI-3互鎖協(xié)議 SIP [ANSI X3.292-1997]SCSI-3光纖通道協(xié)議 FCP [ANSI X3.269-1996]SCSI-3光纖通道協(xié)議2 FCP-2 [T10/1144-D]串行總線協(xié)議2 SBP-2 [T10/1155-D]串行存儲(chǔ)體系結(jié)構(gòu)SCSI-2協(xié)議 SSA-S2P [ANSI X3.294-1996]串行存儲(chǔ)體系結(jié)構(gòu)SCSI-3協(xié)議 SSA-S3P [ANSI NCITS.309-199x]共享命令集:SCSI-3基本命令 SPC [ANSI X3.301-1997]SCSI基本命令2 SPC-2 [本部分]設(shè)備類型專用命令集:SCSI-3塊命令 SBC [NCITS T10/996D-1998] [SJ20820.6-XXXX]SCSI-3流設(shè)備命令 SSC [NCITS T10/997D-1998] [SJ20820.3-XXXX]SCSI-3媒體交換器命令 SMC [NCITS T10/999D-1998] [SJ20820.4-XXXX]SCSI-3多媒體命令集 MMC [ANSI X3.304-199x]SCSI多媒體命令集2 MMC-2 [NCITS T10/1228D-1998] [SJ20820.5-XXXX]SCSI-3控制器命令 SCC [ANSI X3.276-1997]SCSI控制器命令2 SCC-2 [NCITS T10/1255D-1997] [SJ20820.2-XXXX]SCSI簡(jiǎn)化塊命令 RBC [NCITS T10/1240D-1998] [SJ20820.7-XXXX]SCSI光卡讀卡機(jī)/寫(xiě)卡機(jī)規(guī)范 OCRW [ISO/IEC 14776-381]體系結(jié)構(gòu)模型:SCSI-3體系結(jié)構(gòu)模型 SAM [ANSI X3.270-1996]SCSI-3體系結(jié)構(gòu)模型2 SAM-2 [T10/1157-D]公共訪問(wèn)方法:SCSI公共訪問(wèn)方法 CAM [ANSI X3.232-1996]SCSI公共訪問(wèn)方法3 CAM-3 [NCITS T10/990D-1998] [SJ20820.9-XXXX]無(wú)論何處使用術(shù)語(yǔ)SCSI,都不必區(qū)分SCSI版本。在這里,小型計(jì)算機(jī)系統(tǒng)接口2標(biāo)準(zhǔn)(SJ 20631-97)和它所描述的體系結(jié)構(gòu)是指SCSI-2。

NB/T 20086-2012核電廠安全級(jí)電氣設(shè)備老化評(píng)估、監(jiān)測(cè)和緩解

本標(biāo)準(zhǔn)為評(píng)估、監(jiān)測(cè)和緩解核電廠安全級(jí)電氣設(shè)備老化降質(zhì)效應(yīng)提供指南。本標(biāo)準(zhǔn)適用于對(duì)核電廠安全級(jí)電氣設(shè)備的老化進(jìn)行評(píng)估、監(jiān)測(cè)和緩解。本標(biāo)準(zhǔn)的目的是為現(xiàn)有老化降質(zhì)影響評(píng)估的核電行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)提供補(bǔ)充。本標(biāo)準(zhǔn)描述的方法可以用來(lái)鑒別安全級(jí)電氣設(shè)備在超出其鑒定壽期時(shí)的性能。

NB/T 41004-2014電能質(zhì)量現(xiàn)象分類

本標(biāo)準(zhǔn)描述了電力系統(tǒng)及其連接設(shè)備的電能質(zhì)量現(xiàn)象,并給出了分類。本標(biāo)準(zhǔn)適用于標(biāo)稱頻率為50Hz的電力系統(tǒng)。

RB/T 101-2013能源管理體系 電子信息企業(yè)認(rèn)證要求

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子信息企業(yè)能源管理體系的認(rèn)證要求,規(guī)定了電子信息企業(yè)能源使用和消耗實(shí)施系統(tǒng)管理的基本要求,考慮了影響電子信息企業(yè)能源績(jī)效的因素,明確了電子信息企業(yè)能源管理體系的具體要求。本標(biāo)準(zhǔn)適用于電子信息企業(yè)的能源管理體系認(rèn)證,可用于電子信息企業(yè)建立、實(shí)施、保持和改進(jìn)其能源管理體系,也作為各相關(guān)方考核電子信息企業(yè)能源管理體系的依據(jù)。

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