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400-635-0567Test method for carrier concentration of gallium nitride substrates—Raman spectrum method
標(biāo)準(zhǔn) 推薦性 現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)《氮化鎵襯底片載流子濃度的測試 拉曼光譜法》由TC203(半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會)歸口上報(bào),TC203SC2(半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會材料分會)執(zhí)行,主管部門為標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會。
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